Μηχανή επιμετάλλωσης κενού τύπου Magnetron Sputtering
Εισαγωγή προϊόντων
☑ Η επιμετάλλωση με μαγνητρονικό ψεκασμό από ρολό σε ρολό είναι μια προηγμένη τεχνική εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης που χρησιμοποιείται ευρέως σε βιομηχανίες που απαιτούν εύκαμπτα υποστρώματα μεγάλης επιφάνειας και επιτρέπει τη συνεχή εναπόθεση ομοιόμορφων επιστρώσεων σε εύκαμπτα υποστρώματα.
☑Η διαδικασία λαμβάνει χώρα σε περιβάλλον υψηλού κενού για την ελαχιστοποίηση της μόλυνσης και την εξασφάλιση υψηλής ποιότητας εναπόθεσης φιλμ. Ένα υλικό-στόχος βομβαρδίζεται με ιόντα υψηλής ενέργειας (συνήθως αργό) σε περιβάλλον πλάσματος. Το μαγνητικό πεδίο από το μάγνητρο ενισχύει την απόδοση ιονισμού και την πυκνότητα πλάσματος, αυξάνοντας τους ρυθμούς ψεκασμού. Τα εκτοξευόμενα άτομα-στόχοι ταξιδεύουν προς ένα κινούμενο εύκαμπτο υπόστρωμα τυλιγμένο σε κυλίνδρους και συμπυκνώνονται πάνω στο κινούμενο υπόστρωμα. Το υπόστρωμα κινείται συνεχώς, επιτρέποντας την ομοιόμορφη εναπόθεση επικάλυψης. Κατά τη διάρκεια αυτής της διαδικασίας, οι οπτικοί αισθητήρες μπορούν να παρακολουθούν το πάχος του στρώματος για να διασφαλίσουν την ομοιομορφία.
☑Η τεχνική μαγνητρονικού ψεκασμού επιτρέπει την εναπόθεση σε ποικίλα υποστρώματα, συμπεριλαμβανομένων μετάλλων, κραμάτων και κεραμικών. Αυτή η διαδικασία επιδεικνύει ανώτερα χαρακτηριστικά όπως υψηλό ρυθμό εναπόθεσης, εξαιρετική πρόσφυση μεταξύ της επίστρωσης και του υποστρώματος, μαζί με εξαιρετικά πυκνές, καθαρές και ομοιόμορφες δομές φιλμ.